阿斯麦新一代EUV光刻机量产就绪

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阿斯麦宣布下一代光刻机 ready！高数值孔径EUV设备已通过关键验证，能直接投入量产。它省去多道复杂工序，帮台积电、英特尔造出更强更省电的AI芯片，对ChatGPT这类大模型背后的算力突破至关重要。

新机器单台造价约4亿美元，是旧款两倍。目前运行率80%，年底前要冲到90%。已量产50万片晶圆，图案精度达标，停机时间大幅下降。不过芯片厂还得花两三年做产线适配，真正上量尚需时日。