我国首台高能氢离子注入机问世

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1月17日，中核集团宣布，我国首台自主研制的串列型高能氢离子注入机POWER-750H成功出束，核心指标达到国际先进水平。这一突破意味着我国已掌握该设备全链条研发技术，攻克了功率半导体制造中的关键瓶颈，为高端制造装备自主可控和产业链安全提供了坚实支撑。氢离子注入机作为芯片制造“四大核心装备”之一，长期依赖进口，技术壁垒极高，此次成果标志着我国在该领域实现从零到一的跨越。

原子能院凭借数十年在核物理加速器领域的积累，以串列加速器技术为核心，突破多项难题，全面掌握从原理设计到整机集成的正向研发能力，彻底打破国外技术封锁。这不仅是核技术与半导体产业深度融合的里程碑，也将为我国发展新质生产力、实现“双碳”目标注入强劲动力。