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国产半导体设备一季报爆发
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A股半导体设备龙头一季报出炉。北方华创、中微公司、拓荆科技等8家市值超500亿元的公司中，5家营收净利双增。中微与拓荆更创下单季度归母净利润新高——AI算力爆发正强力拉动高端刻蚀、薄膜设备需求。中微的LPCVD、ALD等多款薄膜设备加速放量，拓荆在先进制程设备验证通过后批量出货，订单饱满。
研发持续加码，技术突破提速。7家公司一季度研发费用同比上涨，北方华创、中微在SEMICON China 2026上同步推出新一代刻蚀设备，直击先进逻辑与存储芯片制造痛点。国产设备加速闯入主流产线，刻蚀与薄膜沉积环节国产化率已超40%，规模化量产成为新常态。
