国产激光直写设备打破日韩垄断

中国半导体装备迎来重大突破。江苏影速集成电路装备股份有限公司宣布，其自主研发的FEM2000激光直写曝光设备已成功出货，交付北京一家头部显示企业。这台设备覆盖G6至G10.5代线全尺寸生产，可用于手机屏到110英寸超大电视面板的制造，彻底打破日韩在曝边、打码及金属掩模版制造等关键环节长达数十年的技术垄断。国产高端显示装备实现从无到有，标志着“中国屏”的产业链自主迈出决定性一步。

影速集成深耕激光直写技术十年，此前已在高端PCB领域实现进口替代，两次获评江苏省首台（套）重大装备。此次推出的FEM2000具备微米级刻画精度，无需传统掩模版，直接在脆薄玻璃上成像，精准支撑Micro LED、OLED等前沿显示技术发展。设备支持多尺寸基板快速切换，满足研发阶段小批量试产需求，大幅缩短创新周期。所有工艺流程国内闭环处理，保障企业核心数据安全。随着该设备在FMM\/CMM制造、大尺寸光罩量产等场景落地，中国显示产业正加速摆脱对外依赖，迈向全球价值链顶端。