国产激光直写设备实现重大突破

中国半导体装备迎来重大突破。江苏影速集成电路装备股份有限公司自主研发的FEM2000激光直写曝光设备正式出货，交付北京一家头部显示企业。这台设备覆盖G6到G10.5代面板产线，可实现中小尺寸手机屏与超大尺寸电视屏制造的全尺寸国产替代，彻底打破日韩在曝边、打码及金属掩模版制造环节长期垄断的局面。过去依赖进口的核心工艺如今掌握在自己手中，产业链安全再添关键保障。

影速集成深耕激光直写技术十年，是国家级专精特新“小巨人”企业。FEM2000无需传统掩模版，直接在玻璃基板上完成微米级精细刻画，精度满足Micro LED、OLED等前沿显示需求。设备支持多尺寸基板快速切换，适配研发阶段小批量试产，大幅缩短创新周期。所有工艺数据全程国内闭环处理，杜绝外泄风险。目前该设备已应用于大尺寸掩模版量产、FMM制造等核心环节，动态聚焦与多场同步曝光技术显著提升良率。此次交付标志着国产装备迈入显示制造心脏地带，中国屏正从“跟跑”转向“并跑”，迈向全球产业链高端。