拓荆科技推46亿定增加码半导体设备

国产半导体设备领军企业拓荆科技9月12日盘后公布一项高达46亿元的定向增发预案，引发市场关注。此次募资将主要用于高端半导体设备产业化基地建设和前沿技术研发中心建设，其中11亿元将用于补充流动资金。产业化基地项目选址辽宁沈阳浑南区，规划建设洁净车间、立体仓库和测试实验室等设施，引入先进软硬件系统，打造智能化、规模化高端设备生产基地，项目周期为5年。该项目有望大幅提升拓荆科技在PECVD、SACVD、HDPCVD等薄膜沉积设备领域的产业化能力，增强其在高端半导体设备市场的竞争力。

与此同时，拓荆科技还宣布对控股子公司拓荆键科增资不超过10.4亿元，其中公司自身拟出资不超过4.5亿元，其余资金将由包括大基金三期旗下国投集新、华虹虹芯二期基金、海宁融创等外部投资者共同参与。此次增资标志着大基金三期首次出手投资半导体产业项目，拓荆科技在三维集成设备领域的布局也进一步深化。拓荆键科专注于三维集成技术中的键合设备及量检测设备研发，已推出多款混合键合、熔融键合及配套检测设备，产品已应用于先进存储、逻辑芯片和图像传感器等领域，为客户提供全套技术解决方案。