国产首台电子束光刻机进入测试

近日，位于杭州城西科创大走廊的浙江大学成果转化基地传来好消息：全国首台国产商用电子束光刻机“羲之”正式进入应用测试阶段，其精度达到国际主流水平，标志着我国在量子芯片研发领域拥有了自主可控的“中国刻刀”。

这台名为“羲之”的100kV电子束光刻机，由浙大余杭量子研究院自主研发，可在硅基材料上精准“手写”电路，精度高达0.6nm，线宽控制在8nm以内，具备无需掩膜板即可灵活修改设计的优势，被誉为“在头发丝上雕刻城市地图的纳米神笔”。此前，相关设备因受国际出口管制，长期制约国内科研进展。“羲之”的问世不仅打破技术封锁，还以低于国际均价的价格吸引多家科研机构和企业接洽合作。

在科技创新与产业创新融合推动下，城西科创大走廊正加速科技成果落地。浙江大学与地方园区共建转化平台，企业提需求，高校团队揭榜攻关，打通从实验室到市场的关键通道。与此同时，院士工作站、概念验证中心等平台相继落地，持续为硬科技突破注入动能，助力科技成果高效转化为现实生产力。