芯上微装交付第500台光刻机

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2025年8月8日,上海芯上微装科技股份有限公司(英文简称:AMIES)成功交付第500台步进光刻机,彰显了其在国产光刻机领域的领军地位,也标志着我国高端半导体装备迈向新高度。政府部门、客户代表、行业协会及合作高校等嘉宾齐聚现场,共同见证这一重要时刻。

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AMIES的先进封装光刻机是其核心产品,具备高分辨率、高套刻精度和超大曝光视场,适应多种先进封装工艺需求,全球市占率已达35%,国内更是高达90%。此次交付的设备将用于盛合晶微半导体(江阴)有限公司,双方计划深化合作,推动封装技术升级。未来,AMIES将继续围绕客户需求,坚持创新,提升品质,致力于打造国际一流的半导体装备品牌。

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